用 途
干涉显微镜是用来测量精密加工零件表面（平面、圆柱等外表面）光洁度的仪器。也可以用来测量零件表面刻线、刻槽镀层（透明）等深度。
仪器配以各种附件，还能测量粒状，加工纹路混乱的表面，低反射率的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上，对大型工件表面进行测量。
仪器测量表面不平深度范围为1 ～0.03微米，用测微目镜和照相方法来评定▽10～▽14光洁度的表面。
本仪器适用于厂矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校，科学研究的单位。
技术参数
测量表面光洁度范围 ▽10~▽14 （相当于测量表面不平深度范围为1~0.03微米）
工作物镜的数值孔径 0.65
工作距离 0.5毫米
仪器的视场 目视 Ø0.25毫米
照相 0.21*0.15毫米
仪器的放大倍数 目视 500倍
照相 168倍
测微目镜放大倍数 12.5倍
测微鼓分划值 0.01毫米
绿色干涉滤色片波长 λ≈5300Å
半宽度 ▽λ≈100Å
工作台升程 5毫米
X.Y方向移动范围 ≈10毫米
旋转运动范围 360°
可调变压器输入电压 220或110V
输出电压（可调） 4V-6V
仪器镜 高反射率 ≈50%
低反射率 ≈4%
仪器外形尺寸 270*160*230毫米
仪器本体重 ≈5公斤
仪器成套性
1.仪器主体 1件
2.12.5X测微目镜 1件
3.狭缝目镜 1件
4.V型块 1件
5.6伏、5瓦灯泡 6只
6.可调变压器220/4伏～6伏 1件
7.试样夹 1件
